?真空閥門是指在真空系統(tǒng)中，用來(lái)改變氣流方向，調(diào)節(jié)氣流量大小，切斷或接通管路的真空系統(tǒng)元件。真空閥門關(guān)閉件是用橡膠密封圈或金屬密封圈來(lái)密封的。那么，真空閥門的使用條件主要涉及以下幾個(gè)方面：
真空度范圍
不同類型的真空閥門適用于不同的真空度區(qū)間。例如，低真空閥門通常適用于真空度在 10^5 - 10^2 Pa 的范圍，常用于一般的真空包裝、真空干燥等設(shè)備；中真空閥門適用于 10^2 - 10^(-1) Pa 的真空度，可用于一些實(shí)驗(yàn)室的真空系統(tǒng)、普通的真空鍍膜設(shè)備等；高真空閥門和超高真空閥門則分別適用于 10^(-1) - 10^(-6) Pa 以及 10^(-6) Pa 以下的超高真空環(huán)境，如半導(dǎo)體制造中的光刻設(shè)備、空間模擬設(shè)備等對(duì)真空度要求極高的場(chǎng)合。
工作溫度
真空閥門的工作溫度范圍受到其材料和密封性能的限制。一般來(lái)說，普通的真空閥門工作溫度在 - 20℃ - 80℃左右。如果需要在更高或更低的溫度下工作，就需要選擇特殊材料制造的閥門。例如，在一些低溫真空系統(tǒng)中，如液氦冷卻的超導(dǎo)設(shè)備，需要使用能耐受低溫的閥門，其材料通常具有良好的低溫韌性和熱穩(wěn)定性；而在高溫真空環(huán)境下，如某些金屬熱處理爐的真空系統(tǒng)，閥門材料需要具備耐高溫、抗氧化等性能，以保證閥門在高溫下的正常工作和密封性能。
介質(zhì)特性
介質(zhì)的種類、腐蝕性、顆粒含量等特性會(huì)影響真空閥門的選擇。對(duì)于普通的空氣或惰性氣體介質(zhì)，大多數(shù)常規(guī)的真空閥門都能滿足要求。但如果介質(zhì)具有腐蝕性，如含有酸、堿等腐蝕性氣體，就需要選擇耐腐蝕材料制造的閥門，如采用不銹鋼、聚四氟乙烯等材質(zhì)的閥門。如果介質(zhì)中含有顆粒雜質(zhì)，為了防止顆粒進(jìn)入閥門內(nèi)部導(dǎo)致密封不嚴(yán)或損壞閥門部件，需要選擇具有防塵、防顆粒設(shè)計(jì)的閥門，或者在閥門前安裝過濾裝置。
壓力差
真空閥門兩側(cè)的壓力差也是重要的使用條件之一。在真空系統(tǒng)中，閥門關(guān)閉時(shí)需要承受系統(tǒng)內(nèi)外的壓力差，不同結(jié)構(gòu)和材料的閥門所能承受的壓力差不同。一般來(lái)說，高真空和超高真空閥門需要承受較大的壓力差，其結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和密封性能要求更高，以確保在高壓力差下不會(huì)發(fā)生泄漏。例如，一些金屬密封的真空閥門能夠承受較高的壓力差，適用于對(duì)真空度和壓力控制要求嚴(yán)格的系統(tǒng)。
流量要求
根據(jù)真空系統(tǒng)的工作需求，閥門需要滿足一定的流量要求。流量大小取決于閥門的通徑、結(jié)構(gòu)形式以及系統(tǒng)的壓力差等因素。在一些需要快速抽氣或充氣的真空系統(tǒng)中，如大型真空鍍膜機(jī)、真空熱處理爐等，需要選擇通徑較大、流量系數(shù)較高的閥門，以縮短系統(tǒng)達(dá)到所需真空度或恢復(fù)常壓的時(shí)間，提高生產(chǎn)效率。而對(duì)于一些對(duì)流量控制精度要求較高的系統(tǒng)，如半導(dǎo)體制造中的氣體輸送系統(tǒng)，還需要選擇具有良好流量調(diào)節(jié)性能的閥門，能夠精確控制氣體的流量。